chambre de pulvérisation ionique

chambre de pulvérisation ionique
jonų dulkinimo kamera statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion sputtering chamber vok. Zerstäubungskammer, f rus. камера для ионного распыления, f pranc. chambre de pulvérisation ionique, f

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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