chambre de pulvérisation ionique
- chambre de pulvérisation ionique
- jonų dulkinimo kamera
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. ion sputtering chamber
vok. Zerstäubungskammer, f
rus. камера для ионного распыления, f
pranc. chambre de pulvérisation ionique, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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